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晶圆机械手适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板/太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。在半导体制造流程中 ,晶圆机械手能够参与的步骤有很多,蚀刻、清洗晶圆检测等步骤,都会用到晶圆机械手。而晶圆机械手处处透着高科技的感觉,里面究竟是什么结构呢?

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